Epoch Times ngày 4/10 dẫn một báo cáo mới của các cựu quan chức kiểm soát xuất khẩu Mỹ cho biết những năm gần đây, các nhà máy bán dẫn Trung Quốc đã tích trữ hàng trăm máy quang khắc tử ngoại sâu dạng nhúng (DUV), trị giá hàng tỷ USD. Các tác giả đề nghị Mỹ và đồng minh cấm hoàn toàn xuất khẩu loại thiết bị này cho doanh nghiệp Trung Quốc.
Trung Quốc đã đầu tư lớn cho thiết kế và sản xuất chip cao cấp, nhưng thiếu thiết bị quang khắc tiên tiến. Báo cáo do Trung tâm Công nghệ và Nghệ thuật quản trị quốc gia (Center for Technology & Statecraft, CTS) công bố ngày 26/9 nhận định các hệ thống quang khắc tiên tiến có vai trò thiết yếu để sản xuất chip AI có sức cạnh tranh. Báo cáo đánh giá Trung Quốc khó đưa các hệ thống này vào sử dụng thương mại quy mô lớn trước giữa thập niên 2030, tạo lợi thế đàm phán đáng kể cho Mỹ và các đồng minh đang sản xuất thiết bị.
Do không thể mua máy quang khắc sử dụng tia cực tím bước sóng cực ngắn (EUV) tiên tiến nhất của ASML, các nhà sản xuất chip Trung Quốc chuyển sang phụ thuộc nhiều vào máy DUV dạng nhúng để làm bán dẫn cao cấp. Một số mẫu máy vẫn chưa nằm trong phạm vi lệnh cấm xuất khẩu của phương Tây.
Báo cáo cho rằng Mỹ hiện vẫn cho phép Trung Quốc nhập các hệ thống DUV dạng nhúng, gọi tắt là DUVi, có khả năng sản xuất chip AI tiên tiến. Đến đầu năm 2026, Trung Quốc đã tích lũy kho thiết bị lớn và tiếp tục tăng. Nếu tốc độ nhập khẩu giữ ở mức của năm 2024–2025, công suất quang khắc tích lũy trong 5–10 năm tới có thể đủ để thu hẹp, thậm chí xóa bỏ ưu thế hiện tại của Mỹ và đồng minh trong sản xuất chip AI. Đây là đánh giá dự báo của nhóm nghiên cứu.
Hai tác giả là Nicholas Brown, cựu quan chức kiểm soát xuất khẩu Mỹ, và Saif Khan, người từng cố vấn chính sách công nghệ tại Nhà Trắng và Bộ Thương mại. Nghiên cứu cung cấp dữ liệu cho cuộc tranh luận về việc có nên cấm hoàn toàn xuất khẩu DUV dạng nhúng sang Trung Quốc.
Ước tính hơn 340 hệ thống tại các nhà máy chip Trung Quốc
Theo dữ liệu báo cáo, đến quý I/2026, các nhà máy chip thuộc doanh nghiệp Trung Quốc có 343 hệ thống DUVi. Ước tính rộng hơn, tính cả nhà máy của doanh nghiệp đa quốc gia hoạt động tại Trung Quốc, là khoảng 396 máy, với khoảng dự báo của mô hình từ 361 đến 444 máy.
CTS ước tính 343 máy tại các nhà máy vốn Trung Quốc gồm khoảng 270 hệ thống ASML NXT:1980i, 22 hệ thống NXT:2050i, sáu hệ thống NXT:2100i và 45 hệ thống DUVi có trình độ công nghệ thấp hơn. Nhóm đánh giá ASML chiếm khoảng 99% thị phần DUVi.
CTS nhận định mẫu NXT:1980i có thể hỗ trợ sản xuất chip logic 7 nanomet và bộ nhớ HBM2e. Nhận định này chỉ áp dụng với mẫu máy đó, không phải mọi thiết bị trong tổng số ước tính.
Báo cáo cho biết nhập khẩu NXT:1980i tăng mạnh vừa chiếm phần lớn doanh thu hệ thống ASML, vừa đòi hỏi ngành sản xuất chip Trung Quốc đầu tư lớn. Trong lĩnh vực DUVi, tỷ trọng của Trung Quốc trong lượng giao hàng ASML tăng từ 26% năm 2022 lên 60–70% trong giai đoạn quý I/2024 đến quý I/2026. Riêng năm 2024–2025, chi tiêu của Trung Quốc cho NXT:1980i được ước tính vượt 13 tỷ USD.
Các tác giả cho biết dù công nghệ kém EUV, sau điều chỉnh, các thiết bị này có thể làm chip logic cỡ 7 nanomet và bộ nhớ tiên tiến dùng trong bộ xử lý AI, gồm dòng Ascend của Huawei.
Lỗ hổng được các tác giả nêu
Theo báo cáo, bằng chứng công khai cho thấy ít nhất một số nhà máy tiên tiến ở Trung Quốc vẫn nhận được NXT:1980i. Hồ sơ hải quan An Huy và thông tin từ nhà thầu bên thứ ba cho thấy ChangXin Memory Technologies (CXMT), nhà sản xuất DRAM và HBM lớn của Trung Quốc, tiếp tục nhận thiết bị ngay cả sau khi Hà Lan bắt đầu yêu cầu giấy phép toàn quốc năm 2024.
Các tác giả còn đánh giá Hua Hong gần như chắc chắn đang chuẩn bị đưa một nhà máy chip logic 7 nanomet vào sản xuất. Điều này phù hợp với thông tin công khai rằng công ty đã nhận một hệ thống NXT:2050i; theo lập luận của báo cáo, khoản đầu tư như vậy sẽ không hợp lý nếu không có kế hoạch sản xuất ở nút công nghệ tiên tiến.
Hà Lan bắt đầu yêu cầu giấy phép xuất khẩu với NXT:2000i và các hệ thống DUV dạng nhúng tiên tiến hơn của ASML từ tháng 9/2023. Từ đó, trên thực tế những mẫu này bị cấm xuất khẩu sang Trung Quốc. Một năm sau, yêu cầu giấy phép mở rộng sang NXT:1980i, nhưng xuất khẩu mẫu này vẫn có thể được phê duyệt từng trường hợp.
Báo cáo cho rằng cách làm đó để lại lỗ hổng đáng kể. Ngay cả thiết bị chỉ dùng làm chip trên quy trình trưởng thành cũng có thể được tái sử dụng hoặc chuyển sang dây chuyền tiên tiến.
Đề nghị mở rộng kiểm soát
Nhóm nghiên cứu đề nghị Mỹ chuyển kiểm soát một phần đối với DUVi thành lệnh cấm toàn bộ xuất khẩu DUVi sang Trung Quốc, kèm kiểm soát phụ tùng và dịch vụ bảo trì.
Báo cáo nhận định biện pháp này sẽ giúp Mỹ giữ ưu thế ít nhất một thập niên về sản xuất chip AI tiên tiến và năng lực AI phát sinh từ đó, đồng thời bảo đảm nhóm nhà máy tiên tiến tiếp theo được xây tại Mỹ và đồng minh thay vì Trung Quốc. Đây là lập luận của các tác giả, chưa phải chính sách mới đã được quyết định.
Tháng 4 năm nay, Quốc hội Mỹ đề xuất dự luật lưỡng đảng Match Act (Multilateral Alignment of Technology Controls on Hardware Act), nhằm hạn chế toàn diện việc bán và cung cấp dịch vụ đối với thiết bị sản xuất chip cho Trung Quốc, trong đó nêu rõ DUV dạng nhúng.
Dự luật dự kiến cấm xuất khẩu công cụ sản xuất chip chủ chốt, gồm máy DUV và thiết bị khắc ở nhiệt độ cực thấp, sang các “quốc gia đáng quan ngại” như Trung Quốc, Nga, Triều Tiên, Iran và Cuba. Những thiết bị này được xem là công cụ quan trọng để Trung Quốc vượt hạn chế AI bằng cách bù chất lượng bằng số lượng. Các thượng nghị sĩ lại kêu gọi thông qua dự luật trong tháng 9.
Chú thích biên tập về số lượng thiết bị
Phụ lục E của báo cáo CTS nêu rõ 396 và 343 là ước tính số máy ASML DUVi nhập khẩu tích lũy từ năm 2012 đến quý I/2026, không phải số máy đang vận hành. Khoảng 361–444 là khoảng mô hình 80% cho tổng số nhập khẩu; phần của doanh nghiệp Trung Quốc có trung vị 343, khoảng 312–383. Mô hình không tính máy đã ngừng sử dụng, tái xuất, nhập khẩu trước năm 2012 hoặc thiết bị Nikon. Vì vậy, không nên hiểu các số liệu trong bản dịch trên là kiểm kê toàn bộ máy đang hoạt động.
Nguồn: Epoch Times, tác giả Hạ Vũ, ngày 4/10/2026. Bản dịch đầy đủ nội dung chính.